| 【项目名称】 |
基于碳纳米管的敏感结构与传感器 |
| 【项目编号】 |
2006CB300406 |
| 【项目目标】 |
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| 【项目关键词】 |
金纳米粒子 LB技术 单层膜 SWNTs 拉膜 碳纳米管 表面压 传感器 金属化 漏电 多沟 场效应晶体管 掩模 定向排布 刻蚀 金属纳米线 反应离子刻蚀 I-V特性 纳米 自组装 基础研究 纳米器件 扫描电子显微镜 制作工艺 致密 DNA 导线构 LB单层膜 金属化工艺 表面形貌 原子力显微镜 |
| 【项目承办单位】 |
上海交通大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所; |
| 【项目负责人】 |
李铁;张亚非; |
| 【项目来源】 |
国家重点基础研究发展计划（973计划）项目 |
| 【涉及学科】 |
自动化技术 |
| 【科研经费】 |
0 |
| 【所属大项目】 |
BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究 |
| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
科学技术部 |
| 【发布时间】 |
2005-12-26 |
| 【申请截止时间】 |
2006-02-28 |
| 【立项时间】 |
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| 【完成时间】 |
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| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
http://www.973.gov.cn/ReadItem.aspx?itemid=350 |