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微纳机电敏感结构与传感器
微纳机电敏感结构与传感器
【项目名称】 微纳机电敏感结构与传感器
【项目编号】 2006CB300405
【项目目标】
【项目关键词】 悬臂梁 机电 优化驱动 质量分辨率 模态传感器 传感器 压阻 谐振传感器 微机械 谐振式 品质因数 质量分辨 谐振模 模态 高阶模态 分辨率 有效质量 基础研究 二阶 谐振频率 线圈 改善质量 位置敏感检测器 空气 吸附质量 压阻传感器 克质量 弯曲谐振 闭环电路 硅微悬臂梁 光学
【项目承办单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;浙江大学;
【项目负责人】 金仲和;李昕欣;
【项目来源】 国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
【涉及学科】 自动化技术
【科研经费】 0
【所属大项目】 BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 科学技术部
    【发布时间】 2005-12-26
    【申请截止时间】 2006-02-28
    【立项时间】
    【完成时间】
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 http://www.973.gov.cn/ReadItem.aspx?itemid=350
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