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材料介观性能基本参量的实验表征
材料介观性能基本参量的实验表征
【项目名称】 材料介观性能基本参量的实验表征
【项目编号】 2004CB619302
【项目目标】
【项目关键词】 基本参量 Ti-Si-N 介观 微执行器 比磨损率 位移放大机构 显微硬度 尺度效应 薄膜 ZnO薄膜 耐磨减摩 纳米复合薄膜 电热 射频功率 纳米薄膜 晶粒尺寸 磁控溅射 TiN 摩擦系数 Si含量 结晶性 复合薄膜 摩擦磨损性能 微机电系统 光学性能 深层反应 离子刻蚀技术 硅隔离 组合器?
【项目承办单位】 西安交通大学;
【项目负责人】 徐可为;
【项目来源】 国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
【涉及学科】 材料科学
【科研经费】 0
【所属大项目】 材料若干介观性能的表征及其尺度效应
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
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    【项目成果摘要】
    【发布单位】 科学技术部
    【发布时间】 2004-03-02
    【申请截止时间】 2004-04-29
    【立项时间】
    【完成时间】
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 http://www.973.gov.cn/ReadItem.aspx?itemid=500
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