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基于网络的数学机械化软件开发
基于网络的数学机械化软件开发
【项目名称】 基于网络的数学机械化软件开发
【项目编号】 2004CB318007
【项目目标】
【项目关键词】 数学机械化方法 数学机械化 电子数密度 刻蚀 感应耦合等离子体 软件开发 屏蔽板 电子温度 信息技术 工艺气体 放电模拟 ICP 硅片 低温等离子体 网络 离子 射频 功率 气压 射频鞘层 试制成本 IC制造 干法腐蚀 电感线圈 放电模型 PVD 装备设计 功率增加 物理化学反应 线圈结?
【项目承办单位】 中国科学院数学与系统科学研究院;
【项目负责人】 高小山;
【项目来源】 国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
【涉及学科】 数学;计算机软件及计算机应用
【科研经费】 0
【所属大项目】 数学机械化方法及其在信息技术中的应用
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 科学技术部
    【发布时间】 2004-03-02
    【申请截止时间】 2004-04-29
    【立项时间】
    【完成时间】
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 http://www.973.gov.cn/ReadItem.aspx?itemid=479
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