| 【项目成果摘要】 |
该研究针对气浮轴承内部腔形及组合结构的影响分析的问题,建立了精密气浮系统惯性、对流及平台形位的动力学模型;针对耦合动力学建模和复杂系统动力学求解的难题,提出了复杂精密运动机构结构耦合动力学建模方法;针对精密运动机构控制问题,提出了延迟补偿和抑制周期性干扰的离散滑模变结构控制新方法;针对复杂机构结构系统动力学模型参数化建模与分析问题,研发了具有我国自主知识版权的精密运动机构结构系统动力学与控制的分析和仿真系统。对推动精密运动机构结构的研究以及高端IC光刻机、IC引线键合机、精密测量装置、分子生物实验精密操作台等重要装备的研制具有重要的意义,具有广泛的应用前景。; |