| 【项目名称】 |
微纳制造设备技术 |
| 【项目编号】 |
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| 【项目目标】 |
高效率、高密度和高质量的先进封装与组装设备技术；典型微纳尺度器件与构件的微纳操作技术；批量化微小构件的微型制造系统。完成原理样机。 |
| 【项目关键词】 |
制造设备 专题 微型制造系统 构件 设备技术 原理样机 高密度 高质量 组装 器件 |
| 【项目承办单位】 |
湖南大学;重庆大学;上海交通大学;华中科技大学;中国科学院半导体研究所;西安交通大学;浙江大学;西北工业大学;中国科学技术大学;北京大学;哈尔滨工业大学; |
| 【项目负责人】 |
林新华;郑小林;刘长春;倪中华;戴旭涵;夏保佳;陈明祥;单德彬;杨拥军;赵万生;李艳秋;甘志银;李志宏;刘晓为;尹韶辉;陈迪;文玉梅;宁瑾;于晓梅;吴一辉;侯长军;刘品宽;任大海;陈德勇;陈兢;王克逸;杨克己;倪济裕;张海霞;徐溢;苑伟政;陈花玲;陈天宁; |
| 【项目来源】 |
国家高技术研究发展计划(863计划)项目 |
| 【涉及学科】 |
工业通用技术及设备 |
| 【科研经费】 |
600万 |
| 【所属大项目】 |
极端制造技术专题 |
| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
科学技术部 |
| 【发布时间】 |
2006-08-17 |
| 【申请截止时间】 |
2006-09-20 |
| 【立项时间】 |
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| 【完成时间】 |
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| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
http://www.863.org.cn/863_105/applyguide/guide_general/200608180001.html |