当前位置：数字出版物超市 >> 学者知网节 >> 承担国家项目资助发文
共有记录5条
序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 30.4nm光电成像系统分辨率的初步实验研究 薛玲玲,陈波,石晓光,薛国俊 量子电子学报 2003 0 25
2 均匀软X射线多层膜制备方法研究 金春水,林强,马月英,裴舒,曹健林 强激光与粒子束 2003 2 16
3 极紫外投影光刻掩模技术 杨雄,金春水,曹健林 微细加工技术 2003 0 63
4 EUV波段电光成像系统分辨率的实验研究 薛玲玲,陈波,李玉民 光谱学与光谱分析 2004 0 28
5 极紫外多层膜残余应力初步研究 向鹏,金春水,张立超,金伟华,刘颖敏,曹健林 强激光与粒子束 2005 1 26