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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 掩模制作中的邻近效应 杜惊雷,石瑞英,崔铮,郭永康 微纳电子技术 2002 2 39
2 光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量 石瑞英,郭永康 半导体技术 2001 8 47