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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析 戚学贵,陈则韶,常超,王冠中,廖源 无机材料学报 2003 2 34
2 脉冲激光淀积MgF_2薄膜的制备及性质研究 于琳,韩新海,王冠中,揭建胜,廖源,余庆选,方容川 量子电子学报 2004 2 44
3 CVD金刚石膜制备方法及其应用 戚学贵,陈则韶,陈莉 半导体技术 2001 4 175