当前位置：数字出版物超市 >> 学者知网节 >> 承担国家项目资助发文
共有记录3条
序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 X射线掩模电子束制备图形过程中的数值研究 王永坤,余建祖 微细加工技术 2005 1 16
2 X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析 王永坤,余建祖,余雷,陈大鹏 微细加工技术 2003 1 28
3 X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真 王永坤,余建祖,余雷,陈大鹏 微细加工技术 2004 1 23