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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究 柳忠尧 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (博士) 2004 2 152
2 中频差双反射膜激光及掩模板测量纳米定位系统研究 闫聚群 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (博士) 2005 1 163
3 基于等效合成波方法的双真空管空气折射率测量仪 陈强华,闫聚群,柳忠尧,殷纯永,叶孝佑,许婕 计量学报 2004 2 41