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题名
作者
文献来源
发表年份
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1
高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析
杨武保;范松华;戈敏;张谷令;沈曾民;杨思泽;
物理学报
2006
1
208
2
金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究
张谷令;王久丽;陈光良;冯文然;顾伟超;牛二武;范松华;刘赤子;杨思泽;
物理学报
2007
0
146
3
非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析
杨武保,范松华,张谷令,马培宁,张守忠,杜健
物理学报
2005
3
342