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1
硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响
刘卫平,余庆选,田宇全,廖源,王冠中,方容川
无机材料学报
2005
1
111
2
热丝CVD生长SiCN薄膜的研究
牛晓滨,廖源,常超,余庆选,方容川
无机材料学报
2004
8
71