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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文) 栗大超;吴文刚;袁勇;郝一龙;胡小唐; 纳米技术与精密工程 2006 0 32
2 复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文) 吴文刚,陈庆华,尹冬青,闫桂珍,陈章渊,郝一龙,徐安士 半导体学报 2005 0 51