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1
基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文)
栗大超;吴文刚;袁勇;郝一龙;胡小唐;
纳米技术与精密工程
2006
0
32
2
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)
吴文刚,陈庆华,尹冬青,闫桂珍,陈章渊,郝一龙,徐安士
半导体学报
2005
0
51