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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 The Advanced Nano-Fabrication Technology - - 2004 0 2
2 The application of Optical Resolution Enhancement Technology & E-beam Direct Writing Technology in Micro-fabrication - - 2004 0 1
3 微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用 刘明;陈宝钦;谢常青;王丛舜;龙世兵;徐秋霞;李志钢;易里成荣;涂德钰; 物理 2006 2 308
4 电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片 王德强;曹磊峰;谢常青;叶甜春; 半导体学报 2006 0 60
5 CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法 李金儒;陈宝钦;汤跃科;薛丽君; 微细加工技术 2006 0 13
6 单电子晶体管的数值模拟及特性分析 张立辉;李志刚;刘明;谢常青;叶甜春; 固体电子学研究与进展 2006 1 84
7 CIF到PG3600格式转换的算法研究 李金儒;陈宝钦;赵珉;汤跃科; 微电子学 2007 0 21
8 金属结单电子晶体管的模型建立及实验验证(英文) 张立辉,李志刚,康晓辉,谢常青,刘明 半导体学报 2005 0 57
9 纳米加工和纳米电子器件 刘明,谢常青,王丛舜,龙世兵,李志钢,易里成荣,涂德钰 微纳电子技术 2005 2 269
10 非制冷红外FPA结构设计及物理特性有限元模拟 石莎莉;陈大鹏;欧毅;叶甜春; 光电工程 2005 1 74
11 一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法(英文) 康晓辉,李志刚,刘明,谢常青,陈宝钦 半导体学报 2005 0 16
12 X射线光刻对准系统图像增强技术和对准标记研究 王德强,谢常青,陈大鹏,叶甜春,刘业异,胡松 电子工业专用设备 2005 1 67
13 高斯电子束曝光系统 杨清华,刘明,陈大鹏,叶甜春 电子工业专用设备 2005 1 30
14 一种基于元胞自动机的显影模型 李泠,龙世兵,刘明,陈宝钦 微电子学与计算机 2005 0 33
15 CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文) 李金儒;陈宝钦;刘明;赵珉; 电子器件 2008 0 18