| 序号 |
题名 |
作者 |
文献来源 |
发表年份 |
被引频次 |
下载频次 |
| 1 |
步进闪光压印光刻模具制作工艺研究 |
李寒松;丁玉成;卢秉恒; |
西安交通大学学报 |
2006 |
2 |
61 |
| 2 |
低气压容性射频放电中电流密度对鞘内离子能量通量的影响 |
李志刚;丁玉成; |
中国电机工程学报 |
2006 |
0 |
36 |
| 3 |
射频鞘层中等离子体浓度对离子动量的影响 |
李志刚;丁玉成; |
电子元件与材料 |
2006 |
0 |
38 |
| 4 |
等离子体浓度对离子撞击材料表面能量通量的影响 |
李志刚;丁玉成; |
电工技术学报 |
2006 |
2 |
33 |
| 5 |
微细加工中的快速复型研究 |
刘红忠,丁玉成,李涤尘,卢秉恒,李寒松 |
机械工程学报 |
2003 |
0 |
92 |
| 6 |
压印工作台的纳米级自找准定位研究 |
刘红忠,丁玉成,卢秉恒,金涛 |
西安交通大学学报 |
2003 |
1 |
94 |
| 7 |
压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究 |
王艳蓉,崔东印,丁玉成,王莉 |
西安交通大学学报 |
2005 |
0 |
60 |
| 8 |
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究 |
严乐,刘红忠,丁玉成,卢秉恒 |
西安交通大学学报 |
2005 |
3 |
176 |
| 9 |
冷压印光刻中斜纹光栅对准信号计算模型 |
成丹,卢秉恒,丁玉成,王莉 |
光电工程 |
2005 |
1 |
53 |
| 10 |
Novel Nano-scale Overlay Alignment Method for Room-temperature Imprint Lithography |
- |
Semiconductor Photonics and Technology |
2005 |
0 |
5 |
| 11 |
驱动电流密度对低压容性射频鞘电势及离子动能的影响 |
李志刚,丁玉成 |
西安交通大学学报 |
2005 |
2 |
17 |
| 12 |
微压印光刻的模具制作工艺研究 |
秦旭光,李涤尘,李寒松,丁玉成,卢秉恒 |
电子工艺技术 |
2003 |
1 |
83 |
| 13 |
冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制 |
严乐,卢秉恒,丁玉成,刘红忠,李寒松 |
中国机械工程 |
2004 |
3 |
132 |
| 14 |
多层冷压印光刻中超高精度对正的研究 |
王莉,卢秉恒,崔东印,丁玉成,刘红忠 |
西安交通大学学报 |
2004 |
1 |
57 |
| 15 |
基于差动莫尔信号的超高精度对正系统 |
王莉,卢秉恒,丁玉成,刘红忠 |
机械工程学报 |
2005 |
2 |
49 |