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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 新型全方位注入沉积复合镀膜方法设备研究 李刘合;魏志国;陈畑畑;张骁;朱剑豪; 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 2006 0 11
2 一种新型离子注入方法——电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究 李刘合;梁爱凤;尹蓝;朱剑豪; 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 2006 0 15
3 Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展 徐晔;蔡珣;陈秋龙;沈耀;李刘合; 新技术新工艺 2006 1 71
4 Ti/TiN复合膜工艺优化及性能研究 魏志国;李刘合;张彦华; 新技术新工艺 2006 0 200
5 直流磁控溅射Ti-Si-N超硬纳米复合膜的结构与力学性能 徐晔;李刘合;蔡珣;陈秋龙;朱建豪; 上海交通大学学报 2007 1 107
6 通过PC-PLC实现的复合离子注入机实时监控 郭善伟;李刘合;蔡珣;陈秋龙;徐晔;翁海峰;徐鸣;李刘合; 新技术新工艺 2005 1 54
7 TiN膜的制备和进展 武咏琴,李刘合,张彦华,胡亚伟,刘佑铭,蔡荀 新技术新工艺 2004 1 324