| 序号 |
题名 |
作者 |
文献来源 |
发表年份 |
被引频次 |
下载频次 |
| 1 |
INVESTIGATION ON ALIGNMENT SYSTEM FOR MULTILEVEL IMPRINT LITHOGRAPHY AND ITS AUTOFOCUS ALGORITHM |
- |
第七届海内外青年设计与制造科学会议 |
2006 |
0 |
0 |
| 2 |
基于湿法刻蚀的MEMS压印模版制作 |
王权岱;段玉岗;卢秉恒;丁玉成; |
微细加工技术 |
2006 |
0 |
154 |
| 3 |
PDMS微流控芯片复型模具的新型快速制作方法 |
徐书洁;段玉岗;丁玉成;卢秉恒; |
机械工程学报 |
2007 |
0 |
174 |
| 4 |
纳米压印光刻中模版与基片的平行调整方法 |
张亚军,段玉刚,卢秉恒,王权岱 |
微细加工技术 |
2005 |
2 |
119 |
| 5 |
基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺 |
王权岱,段玉岗,丁玉成,卢秉恒,张亚军 |
西安交通大学学报 |
2005 |
2 |
149 |
| 6 |
MEMS多层压印工艺中的视频图像对准系统 |
王权岱,段玉岗,卢秉恒,丁玉成,刘红忠 |
光电工程 |
2005 |
3 |
96 |
| 7 |
MEMS压印模板制作的刻蚀机理及尺寸控制方法 |
王权岱;段玉岗;卢秉恒;杨连发; |
纳米技术与精密工程 |
2009 |
0 |
45 |