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发表年份
被引频次
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题名
作者
文献来源
发表年份
被引频次
下载频次
1
二甲基胂酸钠(DMAA)诱导肺腺癌细胞A549凋亡作用的研究
陈军
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士)
2005
0
15
2
感应耦合等离子体源线圈配置对等离子体特性的影响
狄小莲
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士)
2006
0
51
3
碳氟等离子体中基团分布及其对a-C:F薄膜结构的影响
杜伟
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士)
2003
0
16
4
ECR-CVD制备的SiO_x/a-C:F/SiO_x多层膜的结构与介电性质
陈军
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士)
2004
1
31
5
感应耦合放电的碳氟等离子体行为及碳氟薄膜生长机理
黄松
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (博士)
2005
0
96
6
SiCOH低k薄膜的ECR等离子体沉积与介电性能研究
叶超
中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (博士)
2006
0
46
7
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断
辛煜;狄小莲;虞一青;宁兆元;
物理学报
2006
2
79
8
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响
狄小莲;辛煜;宁兆元;
物理学报
2006
0
56
9
微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究
贺洁;辛煜;叶超;宁兆元;孙钢;
功能材料
2006
0
59
10
Infrared and Optical Properties of Amorphous Fluorinated Hydrocarbon Films Deposited with the Method of ECR Plasma
辛煜,许圣华,宁兆元,陈军,陆新华,项苏留,黄松,杜伟,程珊华
Plasma Science & Technology
2004
0
10
11
使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜
孙刚;辛煜;卢春山;
苏州大学学报(自然科学版)
2008
0
66