| 序号 |
题名 |
作者 |
文献来源 |
发表年份 |
被引频次 |
下载频次 |
| 1 |
The Advanced Nano-Fabrication Technology |
- |
- |
2004 |
0 |
2 |
| 2 |
CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法 |
李金儒;陈宝钦;汤跃科;薛丽君; |
微细加工技术 |
2006 |
0 |
13 |
| 3 |
单电子晶体管的数值模拟及特性分析 |
张立辉;李志刚;刘明;谢常青;叶甜春; |
固体电子学研究与进展 |
2006 |
1 |
84 |
| 4 |
CIF到PG3600格式转换的算法研究 |
李金儒;陈宝钦;赵珉;汤跃科; |
微电子学 |
2007 |
0 |
21 |
| 5 |
硅栅干法刻蚀工艺中腔室表面附着物研究 |
张庆钊;谢常青;刘明;李兵;朱效立; |
微细加工技术 |
2007 |
0 |
42 |
| 6 |
193 nm光刻散射条技术研究 |
康晓辉,张立辉,范东升,王德强,谢常青,刘明 |
微电子学 |
2005 |
1 |
39 |
| 7 |
100nm分辨率的移相掩模技术 |
陆晶,陈宝钦,刘明,王云翔,龙世兵,李泠 |
微细加工技术 |
2003 |
2 |
33 |