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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 微系统的代工制造及产业发展前景 陈大鹏;叶甜春; 电子工业专用设备 2006 0 74
2 应用于流动控制的MEMS传感器和执行器 欧毅;白宏磊;石莎莉;焦斌斌;李超波;黄钦文;董立军;景玉鹏;陈大鹏;叶甜春;申功; 电子工业专用设备 2006 3 163
3 基于微悬臂梁结构的生化传感器 黄钦文;陈大鹏;叶甜春;欧毅;张青川;李凯; 电子工业专用设备 2006 0 118
4 MEMS中的薄膜制造技术 董立军;陈大鹏;欧毅;黄钦文;石莎莉;焦斌斌;李超波;杨清华;叶甜春; 电子工业专用设备 2006 2 201
5 日本近年RF MEMS开关研究的进展 景玉鹏;黄钦文;石莎莉;焦斌斌;李超波;董立军;杨清华;欧毅;陈大鹏;叶甜春; 电子工业专用设备 2006 4 243
6 MEMS器件牺牲层腐蚀释放技术研究 石莎莉;陈大鹏;丁德勇;欧毅;景玉鹏;董立军;叶甜春; 微细加工技术 2006 0 72
7 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展 傅剑宇;陈大鹏;焦斌斌;欧毅;景玉鹏;董立军;叶甜春; 电子工业专用设备 2007 1 148
8 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况 李全宝;景玉鹏;刘茂哲;陈大鹏;欧毅;马瑾;叶甜春; 电子工业专用设备 2007 0 97
9 MEMS技术在流体控制中的应用 易亮;欧毅;陈大鹏;叶甜春; 电子工业专用设备 2007 1 196
10 热机械光读出非制冷红外成像系统建模分析 焦斌斌;陈大鹏;张青川;叶甜春;高杰;伍小平; 光电工程 2008 0 27
11 Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators - Science in China(Series E:Technological Sciences) 2009 0 10