当前位置：数字出版物超市 >> 学者知网节 >> 承担国家项目资助发文
共有记录9条
序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 SiCOH低κ薄膜的ECR等离子体制备及F掺杂效应研究 王婷婷 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士) 2005 0 28
2 甲烷掺杂SiCOH薄膜的制备和性能研究 俞笑竹 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士) 2006 0 13
3 SiCOH低k薄膜的ECR等离子体沉积与介电性能研究 叶超 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (博士) 2006 0 46
4 纳电子器件中的超低介电常数材料与多孔SiCOH薄膜研究 叶超;宁兆元; 物理 2006 0 157
5 Si—OH基团对SiCOH低k薄膜性能的影响与控制 叶超;宁兆元;辛煜;王婷婷;俞笑竹; 物理学报 2006 1 40
6 微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究 贺洁;辛煜;叶超;宁兆元;孙钢; 功能材料 2006 0 59
7 O_2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响 卫永霞;钱晓梅;俞笑竹;叶超;宁兆元;梁荣庆; 物理学报 2007 1 37
8 CH_x掺杂SiCOH低介电常数薄膜的物性热稳定性分析 杜杰;叶超;俞笑竹;张海燕;宁兆元; 物理学报 2009 0 23
9 CHF_3/DMCPS比对F掺杂SiCOH薄膜结构及性能的影响(英文) 邢振宇;叶超; 苏州大学学报(自然科学版) 2009 0 1