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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 HFCVD衬底三维温度场有限元法模拟 徐锋;左敦稳;卢文壮;李磊;王珉; 机械工程学报 2007 1 92
2 B掺杂CVD金刚石厚膜的应力研究 卢文壮;左敦稳;徐锋;王珉; 硅酸盐通报 2008 0 36
3 EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量 钟磊;卢文壮;左敦稳;林欢庆; 机械制造与自动化 2008 0 4
4 EACVD小型化系统摆动衬底设计及温度场仿真研究 王鸿翔;左敦稳;卢文壮;林欢庆; 中国机械工程 2009 0 11