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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 高数值孔径光刻成像中顶层抗反膜的优化 周远;李艳秋; 光学学报 2008 0 62
2 高数值孔径光刻成像中双层底层抗反膜的优化 周远;李艳秋; 光学学报 2008 0 36
3 45nm分辨率增强技术优化 高松波;李艳秋; 功能材料与器件学报 2008 0 48
4 高数值孔径光学光刻成像中的体效应 周远;李艳秋; 光学学报 2008 0 61
5 含噪声包裹相位图的加权最小二乘相位展开算法研究 刘景峰;李艳秋;刘克; 光学技术 2008 0 30