当前位置：数字出版物超市 >> 学者知网节 >> 承担国家项目资助发文
共有记录5条
序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 传统光学光刻的极限及下一代光刻技术 蒋文波;胡松; 微纳电子技术 2008 0 138
2 纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析 周绍林;唐小萍;胡松;马平;陈旺富;严伟; 微细加工技术 2008 0 26
3 纳米光刻中莫尔对准模型与应用 周绍林;陈旺富;杨勇;唐小萍;胡松;马平;严伟;张幼麟; 光电工程 2008 0 24
4 无掩模光刻技术研究 蒋文波;胡松; 微细加工技术 2008 0 92
5 位相型衍射光学元件设计的混合算法 蒋文波;胡松;赵立新;严伟;杨勇;周绍林;陈旺富; 光电工程 2009 0 19