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1 60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究 孙恺;辛煜;黄晓江;袁强华;宁兆元; 物理学报 2008 0 19
2 13.56MHz低频功率对60MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响 袁强华;辛煜;黄晓江;孙恺;宁兆元; 物理学报 2008 0 24