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序号 题名 作者 文献来源 发表年份 被引频次 下载频次
1 MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术 刘剑 中国优秀博硕士学位论文全文数据库 (硕士) 2006 0 184
2 高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器 刘剑;李昕欣;金大重;刘民;王跃林;左国民;余海涛;包菡涵; 半导体学报 2006 1 64
3 一种电容式微机械加速度计的设计 郑旭东;曹学成;郑阳明;罗斯建;王跃林;金仲和; 传感技术学报 2008 0 103
4 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 夏晓媛;李昕欣;王跃林;李铁;杨衡;焦继伟; 纳米技术与精密工程 2008 0 49
5 一种新的MEMS系统噪声建模方法 张霞;郑旭东;郑阳明;罗斯建;王跃林;金仲和; 传感技术学报 2008 0 68
6 静压驱动下微流体的流动特性 吴昌聚;金小军;金仲和;王跃林; 半导体学报 2008 0 77
7 基于FPGA的数字式电容检测系统 周晓奇;郑阳明;金仲和;王跃林; 传感技术学报 2008 0 81
8 氢氟酸和PSG牺牲层腐蚀的TDC模型(英文) 吴昌聚;王昊;金仲和;马慧莲;王跃林; 半导体学报 2008 0 10
9 振动式微机械陀螺驱动环路数字自动增益控制研究 邱奕文;吴昌聚;王昊;金仲和;王跃林; 传感技术学报 2008 0 30
10 微机械陀螺的建模与仿真 张霞;郑旭东;王昊;金仲和; 浙江大学学报(工学版) 2009 0 37