承担国家项目资助发文

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序号	题名	作者	文献来源	发表年份	被引频次	下载频次
1	二维超精密工作台自标定算法	朱立伟;朱煜;尹文生;	工具技术	2006	0	61
2	超精密工作台自标定不确定度定量评价	朱立伟;朱煜;尹文生;	清华大学学报(自然科学版)	2006	0	59
3	永磁同步平面电动机三自由度运动控制器	曹家勇;朱煜;汪劲松;尹文生;段广洪;王春洪;	中国电机工程学报	2006	0	109
4	感应耦合等离子体刻蚀机二维放电模拟	程嘉;朱煜;汪劲松;	半导体学报	2007	0	75
5	光刻机模拟工件台掩模台同步运动误差分析	王春洪;段广洪;朱煜;	制造技术与机床	2007	0	71
6	基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析	程嘉;朱煜;段广洪;王春洪;	半导体学报	2008	0	63