赵红雨
【姓名】 赵红雨
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 超硬薄膜,磁束缚,CVD,纳米复合结构,子体,复合薄膜,纳米,氮化硅,纳米复合,氮化钛,纳米复合薄膜,a-Si,磁约束,沉积室,磁控溅射,沉积速率,等离子体增强,增强反应,电感耦合等离子体,溅射沉积,...
【工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所;
【所在地域】 上海
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[1]赵红雨,范秋林,宋力昕,施尔畏,胡行方.纳米复合超硬薄膜的研究现状[J]无机材料学报.2004,(01)
[2]范秋林,赵红雨,宋力昕,张涛,胡行方.磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜[J]无机材料学报.2004,(05)
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