张涛
【姓名】 张涛
【职称】
【研究领域】 电力工业;化学;汽车工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁束缚,子体,复合薄膜,纳米,氮化硅,氮化钛,纳米复合薄膜,a-Si,磁约束,沉积室,沉积速率,增强反应,电感耦合等离子体,溅射沉积,氮分压,电磁体,等离子体增强,射频电,非晶,螺线,
【工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所;
【所在地域】 上海
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