曾晟
【姓名】 曾晟
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 烧绿石相,钙钛矿相,原位沉积,铁电薄膜,衬底温度,射频磁控溅射,PZT铁电薄膜,溅射,溅射工艺,相变过程,相结构,钙钛矿,PZT薄膜,参数对,烧绿石,衍射峰,成膜过程,退火处理,非晶态,射频磁控,
【工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海硅酸盐研究所;
【所在地域】 上海
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 0 1 12 204
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]曾晟,丁爱丽,仇萍荪,何夕云,罗维根.溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响[J]无机材料学报.1999,(01)
更多