周冲喜
【姓名】 周冲喜
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻分辨力,离轴照明,相移掩模,光刻分辨率,微细加工,新技术,国家实验室,光学技术,光电技术,二元光栅照明,中国科学院,汉民,倾斜照明,成都,部分相干光,离轴,i线,研究所,Fourier变换,eng...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]罗先刚,姚汉民,周冲喜,冯伯儒,陈旭南.可提高光刻分辨率的新技术[J]光子学报.2000,(09)
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