邢薇
【姓名】 邢薇
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,激光干涉仪,工件台控制系统,精密定位,机械手,承片台,激光干涉测量系统,精密工件,重大创新,关键技术,测量分辨率,导轨,输片系统,激光定位,片库,高精度,机械结构,闸板阀,输片机构,掩模...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]乔俊仙;王肇志;胡松;张正荣;邢薇;唐小萍;王淑蓉;.电子束曝光机激光工件台系统研制[J]微纳电子技术.2006,(02)
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