谢传钵
【姓名】 谢传钵
【职称】 研究员;
【研究领域】 机械工业;仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】 精密机械设计与研究
【发表文献关键词】 工件台,对准系统,CCD摄相机,激光聚变,靶室,针孔相机,分步重复光刻机,分步重复投影,定位工件台,针孔,光刻机,微动机构,暗盒,大行程,法兰,导轨,微动台,导向机构,位置测量,承片台,快门,误差,敏...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 四川成都
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[1]谢传钵.针孔相机的研制[J]光电工程.1999,(S1)
[2]谢传钵.分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J]光电工程.1996,(04)
[3]谢传钵.FCG-1型仿形仪精度分析[J]光电工程.1990,(06)
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