肖倩
【姓名】 肖倩
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 亚半微米,投影曝光机,逐场调平,逐场调焦调平,调焦,曝光机,分步重复投影,探测光,高度测量,多点检测,单光路,曝光区域,干涉条纹,激光干涉,参考光束,调焦精度,离焦,投影物镜,焦面,调平系统,
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】
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[1]肖倩,陈旭南,罗先刚.亚半微米投影曝光机的逐场调焦调平技术[J]电子工业专用设备.1997,(04)
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