王继红
【姓名】 王继红
【职称】 研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;物理学;
【研究方向】 微电子专用设备的研制
【发表文献关键词】 掩模库,投影物镜,电子束曝光机,分步重复投影光刻机,物镜,微量调平,分步重复投影,8098单片机,光刻机,输片机构,柔性铰链,精度分析,水箱,灯泡状态,机械手,致冷堆,电偶臂,工件台,致冷量,电偶,箱...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 四川成都
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