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王皓
【姓名】
王皓
【职称】
工程师;
【研究领域】
电力工业;自动化技术;
【研究方向】
微位移、微流体驱动技术研究
【发表文献关键词】
振动,微位移驱动器,压电马达,压电陶瓷,微细加工,MEMS,微机电系统,微驱动,大行程,运动件,压电,驱动器,高分辨力,机械驱动,硅表面,丝杠,芯片,步距,驱动源,外部驱动,丝杠副,微结构,行波,微位...
【工作单位】
中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】
中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】
四川成都
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中国期刊全文数据库
共找到2篇
[1]王皓,凌宁,曾志革.
一种高分辨力、大行程微驱动压电马达
[J]光电工程.2003,(04)
[2]王皓,姚汉民,杜春雷,焦玉中.
MEMS运动件的芯片外机械驱动方法
[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
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中国科学院光电技术研究所
1
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中国科学院光电技术研究所
1
姚汉民
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该学者文献引用过的学者
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凌宁
中国科学院光电技术研究所
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