田桐
【姓名】 田桐
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微电子专用设备的研制
【发表文献关键词】 掩模库,工件台,电子束曝光机,分步重复投影光刻机,激光工件台,8098单片机,分步重复投影,光刻机,精密定位,激光干涉仪,亚微米,真空箱,死程,导轨,掩模版,干涉仪,量子误差,掩模对准,直线性,模过程...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]陈伟明,田桐,王继红.0.8～1微米分步重复投影光刻机掩模库研制[J]微细加工技术.1997,(01)
[2]刘业异,田桐,钱进.亚微米电子束曝光机激光工件台系统[J]光电工程.1998,(03)
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