唐小平
【姓名】 唐小平
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微电子专用设备的研制
【发表文献关键词】 工件台,气浮工件台,投影物镜,重复投影光刻机,逐场调焦调平,耦合传递矩阵,智能型线性－模糊控制器,解耦矩阵,分步重复投影,温度补偿,气浮,光刻机,解耦控制,模拟仿真,干涉仪,最优控制,亚半微米光刻,模...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]张津,姚汉民,陈旭南,唐小平.亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究[J]微细加工技术.1999,(02)
[2]张津,姚汉民,唐小平,胡淞.高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究[J]微细加工技术.1999,(03)
[3]王继红,唐小平.0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究[J]微细加工技术.1998,(03)
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