阙珑
【姓名】 阙珑
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 相移掩模,投影光刻,部分相干光,部分相干,模拟软件,光强分布,计算机模拟,微光刻,掩模技术,空间象,高分辨率,相移,数学模型,对比度,曝光实验,掩模图,圆化,成象,相移器,非相干,相位误差,容度,边角...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]阙珑，孙国良，冯伯儒.部分相干因子σ及其在相移掩模（PSM）模拟软件中的应用[J]光电工程.1995,(06)
[2]阙珑，孙国良，冯伯儒.相移掩模模拟软件研究[J]微细加工技术.1995,(02)
[3]冯伯儒,孙国良,沈锋,阙珑,陈宝钦,崔铮.微光刻相移掩模技术研究[J]光电工程.1996,(S1)
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