潘莉
【姓名】 潘莉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光子晶体,光刻,激光直写,离子蚀刻,扫描电子显微镜,反应离子,反应离子刻蚀,光刻机,直度,带隙,曝光区,光刻胶,刻蚀条件,掩模板,微细加工,光电技术,二维光子晶体,Half,光学技术,抗蚀层,
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 四川成都
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[1]张磊,张晓玉,张福甲,姚汉民,杜春雷,刘强,潘莉.硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀[J]光电工程.2004,(02)
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