毛绍伯
【姓名】 毛绍伯
【职称】 实验师;
【研究领域】 物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】 激光微细加工技术研究
【发表文献关键词】 掩模缺陷,修正技术,大规模集成电路,激光,光栏,象面,基模,图案,掩模图案,功率密度,导光,显微物镜,双色镜,扩束器,激光光斑,脉冲激光,激光束,激光功率,孔大小,调Q脉冲激光,
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]齐亚范;方敬忠;谢才清;毛绍伯;.环境条件对轻型石英反射镜光学质量影响的研究[J]高技术通讯.1993,(01)
[2]谢应鑫,刘健,毛绍伯.大规模集成电路掩模缺陷激光修正技术[J]激光杂志.1987,(05)
[3]谢应鑫,毛绍伯.激光作标技术[J]激光技术.1988,(05)
[4]齐亚范;方敬忠;毛绍伯;谢才清;.φ200mm轻型石英反射镜的研制[J]光电工程.1993,(06)
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