李淑红
【姓名】 李淑红
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】 微光学元件及系统的设计研制
【发表文献关键词】 光刻胶,烘培,特性研究,混合物,微光学,紫外光刻胶,相对浓度,正型,浓度分布,实验方案,激活能,不同厚度,函数关系,温度,实验研究,曝光参数,微光学元件,抗蚀剂,分解速率,感光,
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 北京成都
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[1]李淑红,杜春雷,董小春.光刻胶烘培特性研究[J]光电工程.2005,(03)
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