胡淞
【姓名】 胡淞
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 分步重复光刻机,调焦机构,柔性铰链,调平机构,投影光刻机,步进模型,调焦,向精度,铰链,逐场调平,定位系统,逐场调焦调平,分步重复投影,套刻,高导,坐标系,耦合传递矩阵,工件台,高分辨力,光刻机,解耦...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[1]张津,姚汉民,唐小萍,胡淞.高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析[J]电子工业专用设备.1999,(02)
[2]张津,姚汉民,唐小平,胡淞.高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究[J]微细加工技术.1999,(03)
[3]胡淞,苏伟军.0.8～1μm分步重复投影光刻机六自由度硅片定位系统设计与计算[J]光电工程.1998,(03)
[4]胡淞,姚汉民.高分辨力高导向精度柔性铰链调焦机构[J]光电工程.1998,(03)
[5]胡淞,姚汉民,张津,李展,曾晓阳,苏伟军.0.35μm投影光刻机的逐场调平技术与套刻步进模型[J]光电工程.1998,(S1)
[6]胡淞,姚汉民.投影光刻机的坐标系与套刻步进模型[J]微细加工技术.1998,(03)
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