屈立飞
【姓名】 屈立飞
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 承片台,光刻机,GAP单元,校准器,定单,脉冲马达,升降导杆,版架,曝光间隙,真空,故障分析,摩擦离合器,离合器齿轮,管路系统,摩擦力,从动轮,真空锁,电磁阀,接触式曝光,间隙量,
【工作单位】 中国华晶电子集团公司
【曾工作单位】 中国华晶电子集团公司;
【所在地域】
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[1]屈立飞.PLA—501F光刻机间隙设定单元故障分析[J]电子工业专用设备.1991,(04)
[2]屈立飞.KLA-221掩模缺陷自动检查系统[J]电子工业专用设备.1993,(02)
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