钱卫江
【姓名】 钱卫江
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 工艺条件,俄歇分析,俄歇,铁基底,剖面分析,重迭,氮化钛膜,氧含量,力学性能,谱图,变差,表面光泽,实验结果,薄膜样品,接触界面,元素,文献,沉积室,均匀性,基底材料,
【工作单位】 中国航天工业部兰州物理研究所
【曾工作单位】 中国航天工业部兰州物理研究所;
【所在地域】
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[1]余镇江,杨得全,王珍,钱卫江,范垂祯.不同工艺条件下TiN薄膜的AES研究[J]真空.1988,(06)
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