戴乾宪
【姓名】 戴乾宪
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 反应离子束,刻蚀,刻蚀设备,固体器件,中和器,离子源,集成电路,工质气体,工件台,空心阴极,真空室,闪烁光,阳极,刻蚀工艺,放电室,快门,等离子体,兰州市,离子束,束流,
【工作单位】 中国航空航天工业部第五一零研究所
【曾工作单位】 中国航空航天工业部第五一零研究所;
【所在地域】 兰州市
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 0 0 3 163
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]成淑英,谈治信,陈绍金,戴乾宪,惠金河,江豪成,王忠.RIBE-5型反应离子束刻蚀机[J]真空.1993,(01)
更多