宋晓文
【姓名】 宋晓文
【职称】
【研究领域】 航空航天科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控,溅射,镀膜性能,同轴,磁控靶,靶面,溅射靶,基距,场强度,溅射率,柱形靶,速飞,靶材,镀膜,均匀性,功率效率,放电特性,压强,条状磁铁,沉积速率,
【工作单位】 中国航空工业第一集团北京长城计量测试技术研究所
【曾工作单位】 中国航空工业第一集团北京长城计量测试技术研究所;
【所在地域】 北京
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[1]宋晓文.影响同轴磁控溅射镀膜性能的几个问题[J]航空计测技术.1998,(06)
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