韩象明
【姓名】 韩象明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子探针分析,灵敏度指标,砷化镓工艺,二次离子,相对灵敏度因子法,二次离子质谱,参考物质,灵敏度分析,GaAs,定量分析,深度剖析,失效分析,SIMS,灵敏度数据,灵敏度测试,砷化镓材料,分析结果,质...
【工作单位】 中国电子科技集团第四十六研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十六研究所;
【所在地域】 天津
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[1]马农农,韩象明.二次离子质谱技术在砷化镓工艺中的应用[J]半导体情报.2001,(01)
[2]邹庆生,查良镇,刘容,马农农,韩象明.GaAs中Si的二次离子质谱定量分析[J]真空科学与技术.1996,(01)
[3]刘容,韩象明,王理.CAMECA IMS—4F离子探针的灵敏度分析[J]质谱学报.1992,(02)
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