侯占民
【姓名】 侯占民
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 仪器仪表工业;计算机软件及计算机应用;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅微加速度计,压阻式,等离子体刻蚀,MEMS,加速度计,敏度,弹性梁,双端固支梁,固支,压阻,电阻器,质量块,控制梁,科技集团,模选择性,主芯,硅微结构,中国电子,制作过程,腐蚀速率,
【工作单位】 中国电子科技集团第四十九研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十九研究所;
【所在地域】 哈尔滨
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[1]侯占民;王金文;杨金梅;崔宏敏;.一种高温绝压传感器弹性膜片技术研究[J]黑龙江大学自然科学学报.2009,(06)
[2]王世清;姜彤;侯占民;.单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法[J]传感器与微系统.2006,(07)
[3]张精华,田雷,迟晓珠,王伟,侯占民,吴亚林.压阻式硅微加速度计的研制[J]传感器技术.2003,(12)
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